| 品牌 | 廈門地坤 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
ZT-60-15立式化學氣相沉積爐
ZT-145-15立式化學氣相沉積爐
ZT-220-15立式化學氣相沉積爐
ZT-270-15立式化學氣相沉積爐
ZT-550-15立式化學氣相沉積爐
一、設備用途：
化學氣相沉積爐主要用于碳化硅（SIC）及氮化硼（BN）等新材料的制備。
二、設備特點：
1、立式結構，爐門采用絲杠升降或液壓升降/手動升降。
2、雙層爐殼結構，內層不銹鋼，外層為碳鋼，中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體，石墨碳氈保溫層保溫效果好。
3、控制方式為PLC加觸摸屏方式，有手動及自動控制切換。自動化程度高，操作方便。
4、主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌，性能穩定、可靠。
5、配備出、裝料料車，方便操作及出裝料，提高工作效率。
ZT-60-15立式化學氣相沉積爐三、主要技術參數：
No.型號工作區尺寸（?XH）mm高溫度 (℃)真空度 (Pa)壓升率
(Pa/h)溫度均勻性(℃)功率（KW）
1ZT-60-15300X50015001-1000.67±1060
2ZT-145-15600X80015001-1000.67±10145
3ZT-220-15800X100015001-1000.67±15220
4ZT-270-151000X150015001-1000.67±20275
5ZT-550-151500X200015001-1000.67±20550
注：爐膛尺寸可按您的要求定做
HZT-100-15臥式化學氣相沉積爐
HZT-145-15臥式化學氣相沉積爐
HZT-145-15臥式化學氣相沉積爐
HZT-360-15臥式化學氣相沉積爐
一、設備用途：
化學氣相沉積爐主要用于碳化硅（SIC）及氮化硼（BN）等新材料的制備。
二、設備特點：
1、臥式結構，雙爐門結構，爐門啟閉采用氣動方式。
2、雙層爐殼結構，內層不銹鋼，外層為碳鋼，中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體，石墨碳氈保溫層保溫效果好。
3、控制方式為PLC加觸摸屏方式，有手動及自動控制切換。自動化程度高，操作方便。
4、主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌，性能穩定、可靠。
5、配備出、裝料料車，方便操作及出裝料，提高工作效率。
三、主要技術參數：
No. | 型號 | 工作區尺 （WXHXL）mm | 高溫度 (℃) | 真空度 (Pa) | 壓升率 (Pa/h) | 溫度均勻性 (℃) | 功率 （KW） |
1 | HZT-100-15 | 400X400X600 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 100 |
2 | HZT-145-15 | 500X500X750 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 145 |
3 | HZT-145-15 | 600X600X900 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 190 |
4 | HZT-360-15 | 700X700X2000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 360 |
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